초음파 센서를 이용한 유량계로서 , 초음파 유속계와 동일한 측정원리가 사용된다. 그림은 초음파 유량계의 원리도이다.
유량계 관로 외면에 초음파송 . 수파 소자를 한쌍 대향하여 설치하고, 흐름에 대하여 순방향 역방향으로 초음파 펄스를 발신한다. 각각 그 전파 시간을 t1 , t2라고 하면,
t1 = D/〔cos θ (c+V sin θ)〕,
t2 = D/〔cos θ (c-V sin θ)〕
c: 유체 내의 음속
이 전파시간을 주기로 하는 펄스열을 만들고 , 각 주파수의 차 O는 다음식으로 주어진다. O를 측정하면 유속 V가 유체내의 음속c에 관계업이 구해지고 유속v에 계수를 곱하여 주면 평균유량이 구해진다.
측정은 유체내에 미립자나 유체 내의 기포가 적다는 가정하에 행해지고 있고, 미립자 등이많은 경우에는 도플러식 유량계로 측정된다.
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